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米が中国へのASML装置販売禁止求める、日本にも圧力-関係者

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    News & Chips 国際技術ジャーナリスト

    半導体製造装置の中国向け輸出に関しては、ワッセナール協定が結ばれており、最先端の製造装置は出荷できないが、1~2世代前なら出荷できるとされています。ArFi(液浸型ArFエキシマレーザーリソグラフィ装置)は7nmまで対応できる装置ですが、これを1世代前とするかどうか、「最先端」を再定義すべきだと思います。
    うがった見方をすれば、先端リソグラフィ装置でトップを行くオランダの製品を締め付けようとさえ映ります。というのは、製造装置大手のいる米国も日本も「最先端」以外の装置をガンガン中国へ輸出して儲けているからです。Applied Materialsも東京エレクトロンも中国向け製品の販売額が地域別では共に最大なのです。オランダはこれまでArFレーザーリソは最先端ではない製品として位置付けて中国向けに販売してきました。しかしEUVは最先端製品なので輸出はしていません。ArFiではダブルパターニング、トリプルパターニングすれば7nmプロセスに使えます。オランダ政府は米国政府に遠慮しているようです。


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    NASA Jet Propulsion Laboratory 技術者・作家

    やー、これは悪手だと思うな。短期的には困らせられるけど、中国には豊富な人材と産業基盤があるから、長期的には中国が自主開発してASMLがシェアを失うだけになる気がする。


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    株式会社アダコテック COO

    露光機の中国輸出を禁止してしまえば、その世代の製造ラインを構築することは困難になるので、最小限の規制で最大の効果を発揮することはできるかもしれません。但し、津田さんご指摘の通り他の半導体装置メーカーやEDAベンダーも影響を受けてしまいますね。


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