Mipoxの結晶欠陥検査装置は世界標準になりそうですね。 パワーデバイス基板のSiC、GaNの結晶成長は気相成長法ですが、欠陥が少ない高品質な基板を製造するのは、まだ難しいです。 しかも基板サイズも100mm、150mmと大型化していくので、検査装置はとても重要です。 液晶パネル表面に付着したコンタミ除去装置など、開発力のある会社ですが、パワーデバイス市場でMipoxが存在感を示してくれることに期待しています。
マイニュースに代わりフォローを今後利用しますか