大口径ＧａＮ基板を量産化へ。三菱ケミカルがＥＶの新たな可能性を切り開く
コメント
選択しているユーザー
大口径ＧａＮ基板の量産化！これは素晴らしいです！！
小口径基板を大量に作れば？という声が出ると思いますが、実は半導体基板の処理はウェハー(基板)単位ですので、大口径の基板を量産する方が圧倒的にコストが安くなります。
新しい半導体を安く使うためにはウェハーサイズの大型化 (基板の大口径化) が必須ですが、ウェハー上の特性の均一化が非常に難しいため、簡単に開発できないのが辛いところでした。
GaNは5Gの基地局等にも使用されているため、大口径GaN基板の量産化により、その手のGaNデバイスをさらに安く製造可能になるため、本成果の今後が今から本当に楽しみです。
注目のコメント
6インチにGaN基板に量産化に是非成功して欲しいです。
2インチも4インチも、量産で高温高圧化で成長させるハードルは高いと思いますが、6インチはLED用のサファイア基板の上にGaNを成長させるのに、結構苦労していましたから。
単結晶GaNや単結晶SiCが高品質で結晶を成長させ、極め歩留まり良くベアウエハ(基板)を切り出し、更にエピタキシャル成長させるのは、高品質化とコスト低減のキーです。
三菱ケミカルはこの分野、本当に長く取り組んでいますね。
日本製鋼所の技術力にも感心するばかりです。
結晶成長装置もおそらく他社はそう簡単に作れないでしょうね。
