『3月の火災と同じ工場棟1階で、自動搬送台車の電源盤から発煙があった。』 自動搬送台車というのは、おそらくある工程から別の工程(機械)にウエハを運ぶ機械。そうするとクリーンルームの中なのではないかと思う。 生産再開しているとのことではあるが、発煙がある=汚染があるのではないかと思い、再度清掃とならないか…
原因は電源系統のトラブルであり前回の火災とは関連はない、としていますが..被害がなくて何よりです..
外部からこっそり何か操作されてるんじゃないかって思ってまうわ。
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