ダイキンが韓国に半導体製造用ガス生産でMOU締結…サムスン物産も合弁参加 - コリア・エレクトロニクス

コメント

注目のコメント

• tanaka k

  汎用エンジニア

  ・2021年01月21日

  ダイキンは空調機器だけでなく、冷媒も作っているメーカーで、エアコン冷媒は一般的にはフルオロカーボンとかハイドロフルオロカーボンが使われる。
  
  他方、ドライエッチングでは主にシリコン系材料をエッチングするけど、ここで使われるのはフッ素系ガスで、とくに最近はマスク選択比を得るためフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンが使われる。
  
  つまり、もともとエアコン冷媒として作ってたガスが、そのままエッチングに使えるから、こういう話になる。
  
  純度もそうだけど、ガス中のCHF比とか、結合状態とかもエッチングには重要で、もちろんダイキンはじめとした冷媒メーカーはそういった製造技術を持っている。
  
  エッチングにおけるガスというのはちょっと特殊な立ち位置を持っていて、ハードウェアを変えなくてもガスを変えたらうまくエッチングできるケースがけっこうある。ただし、真似されるのも簡単で、そこはソフトに似てる気もするけど、分析とか製造元調査とかされると大体当たりがついてしまうので、隠すのが難しい。最近は、ガス関連特許が結構出てるけど、基本は可能性あるガスを全部書いてスクランブルかけている。
  
  ガスメーカーは舵取り難しそう