DRAMでもEUVを投入。記事にあるように、ロジックではTSMCが先行して、Samsungも使っているはず。ただメモリはまだだった。 NANDは3Dがメインで、微細化の方向ではないと思う。 にしてもEUV、10年以上前から技術としては研究されてきて、ようやく量産に。でもできるプレイヤーは設備投資力がある一部のプレイヤーだけ。 ウエハの450mm化とかはいつか起こるのだろうか!?
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