「5nmの本格量産は2020年前半、歩留まりは既に平均80%」、TSMCがIEDM 2019で講演
日経 xTECH(クロステック)
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注目のコメント
ご参考。
もう鬼籍に入られた大見先生が書かれた記事をこんなところで拝見することになろうとは。私は大見先生のところで助教授をされ、その後東大で教授になられた柴田直先生の元で博士をとりました。東大着任後私が最初の学生だったの研究室の立ち上げをすべて経験させてもらって、非常にいい経験になりました。
1 章 集積回路プロセス技術概論
http://www.ieice-hbkb.org/files/10/10gun_02hen_01.pdfうーん、ユーザーがますます少なそう。”ただし、EUV用のマスクは1枚5000万円かそれ以上と業界内でいわれており”