サムスン、EUVリソグラフィによる7nmチップの製造を開始
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フォトリソは、パターンを作るときに光を当てて素材の性質を変化させてマスクパターンを作る技術です。光は直進するものと思ってしまいますが、これくらいの微細加工だと中高生の物理でならう回折(波としての性質)を考慮しないといけません。
フォトリソグラフィ
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AA%E3%82%BD%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3これまでのニュースフローを下記でまとめたが、EUVでの量産開始ということだと思う。
https://newspicks.com/news/3193699