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カールツアイスSMTは以前、ニコンに特許係争で負けた後、提携している。
光学レンズのようだが、それならEUVとあまり関係ないし。。
いろいろ裏がありそう。

http://www.nikon.co.jp/news/2004/1213_j.htm


http://news.braina.com/2004/0929/judge_20040929_001____.html
Carl Zeissは、元々ASMLのキーパーツであるレンズを提供している。ニコン・キヤノンと比較して、このレンズ部分を内製ではなく分業しているというのが特徴だったが、そこへの支配を強くするという意図だと思う。
出資するCarl Zeiss SMTはCarl Zeissの子会社で露光装置用レンズの子会社と見られる(下記リンク)。ただ、若林さんがコメントされているように、EUVはレンズではなくミラーを使うはずだが…
http://news.mynavi.jp/articles/2007/06/21/asml/002.html