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半導体装置ASML、北海道に新拠点 ラピダス工場に協力

日本経済新聞
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    大手車載部品メーカー 次世代製品設計担当部署 課長 博士(工学)

    シリコンアイランド九州に次ぐ半導体拠点確立に向けて北海道が盛り上がっていますね。
    生成AIの勃興に伴い回路線幅が小さな先端半導体業界も盛り上がっていますし、日本も乗り遅れないようにするためにはこの手の動きは欠かせません。
    北海道は水源が豊富なので半導体製造にはもってこいの地域かもしれませんが、製造に際しては1つだけネックになるものがあります。
    実はそれは「ガス」なんです。

    半導体を製造する際には有毒・無毒に関わらず色々な種類のガスを使います。
    特殊なガスはシリンダーに入れた状態で業者から購入するのですが、実は陸路で運ぶ際、本州と北海道を結ぶ青函トンネルが厄介な存在として立ちはだかります。
    日本の道路交通法では高圧ガスシリンダーを積んだ自動車はトンネルを走行することができません。
    それなら鉄道はどうかと言えば、JR貨物の約款で引火性の液体や毒物類といった危険物の通過が厳しく規制されているので、同じくガスを運ぶことが難しい状況にあります。
    パイプラインを引く手もあるでしょうが、コストや工期の面から現実的ではなさそうです。
    今回のように製造設備メーカーだけを誘致しても、稼働に必要な水、ガスなどのユーティリティもしっかり整えないといけない点が半導体工場を作る上での難しいポイントですね。


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    News & Chips 国際技術ジャーナリスト

    ASMLが北海道に拠点を作っていただけることは大変心強いことです。EUVは、買ってきて誰でも操作できる装置ではありません。ASMLのサポートが欠かせない装置です。TSMCの近くにはASML拠点要員が4500名いるといわれています。その点、韓国のSamsungの近くにASMLのエンジニアが何人いるのか聞こえてきません。成功への一つの壁は超えましたが、後は何人にサポートしていただけるのか、2nmの先はできるのか、などの問題が待ち構えています。


  • 半導体装置ASMLが,imecもラピダスと提携だけど原子力発電の再稼働がラピダス成功に不可欠だと思う


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