キヤノン、ナノインプリント半導体装置を「東芝メモリ」に納入

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注目のコメント

• Kato Jun

  ユーザベース SPEEDAアナリスト

  ・2017年07月21日

  キヤノンが東芝メモリに量産モデルのナノインを納入。とはいえ、これ3DNANDの製造で、どれだけメリットがあるのだろうか？
  最近NANDの開発は完全に3Dにシフトしている。3D構造を作るために、トレンチ（穴）を深く掘る必要があり、そのための装置であるエッチャーがバカ売れしているし、コスト・プロセス時間としてかかっているのはここ。露光部分をこれで代替しても、3DNAND以前ほどのメリットがないのではないだろうか？