既存のArF液浸露光装置をナノインプリント露光装置に置換する事で、製造コストを大幅に減少できるのだそうです。 そして東芝とキヤノンはナノインプリント露光装置の共同開発をしているのだと言う。 もはや、キヤノンに出資してもらうのが一番ハッピーなのではないんすか?
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